乱流式(TurbulentFlow)

空调器箱内的空气通过经风管进入洁净室(HEPA)，由洁净室两侧的隔间壁板或高架地板进行回风。流场以非曲线形式运动，并无定规的乱流或涡流形态。此类型可与1000-100,000级清洁室合用。然而，净化车间净化工程对人们生活的作用却不容忽视，净化车间净化工程所生产的食品更加环保卫生，性能更加优良的电子设备，更加安全卫生的设备，与人体接触的化妆品，等等，都是在净化工程中产生的。

优点：简单，系统成型成本低，对洁净室扩大比力容易，在某些特殊用途的场合，可与无尘机配合使用，提高洁净室的洁净等级。

不利之处：在室内空间，杂乱无章形成的尘埃颗粒不容易排出，容易污染造程，卖得货。其他如果系统停机运行，重新启动，要达到要求的干净程度，往往需要花费相当长的时间。

层流动的空气流动成一条均匀的弯曲线，空气通过覆盖100%的过滤器流入室内，通过高架地面或两侧的隔墙板回风。此类型合用于洁净室等级要求定得较高的环境，其洁净室等级一般为1~100。其类型可以分为两种：

等级分层：等级空气自过滤器双向吹出，由对侧墙之回风系统进行回风，尘埃随风向排出室外，一般正在下流侧污染较为严重。

优点：简单，运转后很短的时间内就能酿造不变。此净化方式比全室净化更容易保证局部空间的高洁净度，且因工作台间相互连接，可减少或防止交叉污染。

不利条件：建造成本较乱流高，室内空间不易扩展。

(2)垂直流式：房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖，空气从上到下被吹得很干净，并且在建造过程中或工作人员产生的灰尘可以迅速排出室外而不影响其他工作区域。现在，集中式净化空调系统广泛采用分散式净化空调系统的形式，它兼具集中式和分散式的优点，更能适应生产过程的要求和施工的客观条件。

优点：操作简单，开机短时间内便可达到形态不变，不容易被功课形态或老师影响。新建筑应根据洁净室的面积、净高度、位置和消声减振等要求，综合技术经济比较，确定送风方案为集中式净化空调系统或分散式净化空调系统。

不利条件：造价高，使用空间弹性差，天花吊架占相当大的空间，更换滤网维护更费事。

复合型(MixedType)

复合为将杂流与层流合二为一或同时使用，可供部分超洁净空气供应。负密封是使滤清器与静压箱及机架接头的外部周围处于负压状态，与明装形式一样，即使漏水也不会漏到室内。

(1)清洁程度(CleanTunnel)：用HEPA或ULPA过滤器将造程区或工做区覆盖100%，清洁程度等级提高到10级以上，可节省安装运行费用。这个类型要求将作业人员之工作区取卖货物与机械维修分开，以防止在进行机械维修时影响工作区及品量。这一类型在ULSI造程中大多被接受。超出有效期的物料不能使用。

清洁工具还具有两个优点：A.伸缩方便，B.修理机械工具时可以在维修区域内随意使用。每一件工装上的修补次数、修补总面积和修补频率应有一个限制。

(2)清洁管道：将已售出商品流程中颠倒的主动消耗品包装并净化处理，将清洁等级提高到100以上。由于销售得货与功课员及除尘环境相互隔离，少量之送风就能达到优质洁净，可节省能源，无需人工主动化消耗线为适宜使用。医药，食品行业和半导体行业都是合作伙伴。满足了要求，但又经常浪费大量人力物力，延误工期，延误GMP认证过程。

净化工程室内静电引发的事故主要有以下几点。

(1)静电造成的静电电击，造成人的不平静感和恐惧感，并可能造成二次伤害(例如，人因被电击而跌倒，跌倒后受伤)；

2.静电放电产生的放电电流，可引起损坏和误动，如将50个P-MOS电路放入一个塑料袋中，摇晃数次后，取非门栅严重击穿者39个，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电有很强的活络；

三、静电放电产生的电磁波会引起电子仪器和装置的纯音和误动。

四、静电放电产生的发光会引起感光破坏，如照相肢片；

5.静电产生的机械现象会引起筛孔被尘埃堵塞，纺丝混乱，印品深度不均匀，以及成品污染。

用净化空调器或部分净化机械工具如洁净工作台、棚式垂曲层流单元、层流罩等，在普通空调环境中形成部分区域具有必然洁净度级环境的净化工程净化处理方式称为部分净化。这种方法适合于消费批量较小或操纵现有工厂停止技术创新的场合。当前，普遍采用的是全室净化法取部分净化相分离的净化处理方式，即清洁技术进行过程中所采用的净化方式，它既可使室内具有一定的洁净度，又可使部分区域达到高清洁度，从而达到既满足消费对高清洁度环境的要求，又节省能源的双重目的。举例来说，需要100级干净度的操作工段，在消耗批量较大时，只要在洁净度较低的混乱状态下，只要操作洁净工位或层流罩等部分净化机械工具，就可以实现全室净化取部分净化相分离净化模式。

静电事故的发生正在于静电的发生和积累，而操作时气流的活动，气流与管道、风口、过滤器等摩擦，人体与衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、喷射、洗涤、搅拌、粘合、剥离等操作，都有可能发生静电，正在人们普遍认为，越是导电的非导体(绝缘体)，越容易产生电导，因为带电后就不易移动，所以就更容易带电。

因此，目前洁净室中静电问题十分严重，这是因为在洁净室中不单存在上述静电发生的多种工艺因素，而且由于洁净室中大量的质料如塑胶空气、墙面、尼龙、确实良等工装都具有较高的电阻率，都较易发生静电并聚集静电，正在洁净室中静电灾难未被重视之前，这些质料已被广泛接受。